設備概述
1.此系統可提供完全獨立自主超潔淨給需與目前環境隔離之製程設備。
2. 可依實際欲去除化學微分子汙染(VOC,SO2,NH4 etc..)之需求客製化 。
設備特色
1. 採個別獨立的單元可快速拆解及主裝,在裝機的動線上
可較為靈活,不會因體積過大而造成裝機上的不便。
2. 在更換化學濾材時也較傳統結構式的化學濾網來的方便,並
且設備可在不停機的狀態下更換濾材。
3. 本身有送風機制,不會因壓損過大而造成無法提供足夠風量
給機台設備,舊制化學濾材都鑲崁於設備入風孔處,常因設備內的
靜壓不足而無法吸入足夠風量而造成溫度提高以及潔淨度不足的問題。