| 溫度監控潔淨設備
1.系統概要
設置在LCD Photo Line 的Exposure 設備前段,從HPCP 出來的Glass
投入到 Exposure 設備前以定量的温度及風速的Clean Air 噴射到
Glass 表面而均衡Glass 温度的一種空調系統
若不調節Exposure 工程前Glass 的溫度均衡時會導致Glass 表面
的PR Pattern 歪曲而Total Pitch Error,因此此系統是防範情况的發生.
2.系統規格